机械与电子Issue(5)：31-33,3.
基于显微视觉的MEMS微装配系统研究
Research of MEMS Assembly System Based on Micro-vision
摘要
关键词
微装配/微机电系统/显微视觉分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈立国,孙立宁,边信黔,荣伟彬..基于显微视觉的MEMS微装配系统研究[J].机械与电子,2005,(5):31-33,3.基金项目
国家"八六三"MEMS重大专项(2002AA404450) （2002AA404450）
国防基础科研项目(k1401060130) （k1401060130）
