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溅射沉积功率对PZT薄膜的组分、结构和性能的影响

李新曦 赖珍荃 王根水 孙璟兰 赵强 褚君浩

红外与毫米波学报2004，Vol.23Issue(4)：313-316,4.
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红外与毫米波学报2004，Vol.23Issue(4)：313-316,4.

溅射沉积功率对PZT薄膜的组分、结构和性能的影响

INFLUENCE OF DEPOSITION POWER ON THE COMPOSITION,STRUCTURE AND PROPERTIES OF PZT THIN FILMS PREPARED BY RF SPUTTERING

李新曦 1赖珍荃 1王根水 2孙璟兰 2赵强 2褚君浩2

作者信息

  • 1. 南昌大学,物理系,江西,南昌,330047
  • 2. 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083
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摘要

关键词

射频溅射/沉积功率/钙钛矿结构/PZT/铁电薄膜

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李新曦,赖珍荃,王根水,孙璟兰,赵强,褚君浩..溅射沉积功率对PZT薄膜的组分、结构和性能的影响[J].红外与毫米波学报,2004,23(4):313-316,4.

基金项目

上海市自然科学基金(00ZE14071)及江西省自然科学基金资助项目(0150016) （00ZE14071）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1001-9014

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