电子科技大学学报2009，Vol.38Issue(2)：313-316,4.DOI:10.3969/j.issn.1001-0548.2009.02.37
氮化硅薄膜热性能测试研究
Measurement of Thermal Performance of Silicon Nitride Thin Films
摘要
关键词
Pt薄膜/氮化硅薄膜/热导/热容分类
数理科学引用本文复制引用
蒲娟,吴志明,蒋亚东,熊昊,张良昌..氮化硅薄膜热性能测试研究[J].电子科技大学学报,2009,38(2):313-316,4.基金项目
国家杰出青年基金(60425101) （60425101）
教育部新世纪优秀人才计划(NCET-04-0896) （NCET-04-0896）
