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半导体桥等离子体温度的原子发射光谱法测量

张文超 周彬 王文 秦志春 张琳 叶家海 田桂蓉

原子与分子物理学报2008,Vol.25Issue(2):313-316,4.
原子与分子物理学报2008,Vol.25Issue(2):313-316,4.

半导体桥等离子体温度的原子发射光谱法测量

Measurement of semiconductor bridge plasma temperature using spectroscopic method

张文超 1周彬 1王文 1秦志春 1张琳 1叶家海 1田桂蓉1

作者信息

  • 1. 南京理工大学化工学院,南京,210094
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摘要

关键词

半导体桥/等离子体/温度测量/原子发射光谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

张文超,周彬,王文,秦志春,张琳,叶家海,田桂蓉..半导体桥等离子体温度的原子发射光谱法测量[J].原子与分子物理学报,2008,25(2):313-316,4.

基金项目

重点实验室基金(9140C3701040701) (9140C3701040701)

原子与分子物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0364

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