物理化学学报2008，Vol.24Issue(2)：313-316,4.
硅基超薄多孔氧化铝膜的制备
Fabrication of Ultra Thin Porous Alumina Membrane on Silicon Substrate
杨昊炜 1张璋 2段晓楠 1俞宏坤 1金庆原2
作者信息
- 1. 复旦大学材料科学系,上海,200433
- 2. 复旦大学光科学与工程系,上海,200433
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摘要
关键词
多孔氧化铝膜/硅基/超薄/生长机理分类
化学化工引用本文复制引用
杨昊炜,张璋,段晓楠,俞宏坤,金庆原..硅基超薄多孔氧化铝膜的制备[J].物理化学学报,2008,24(2):313-316,4.
