高技术通讯1995，Vol.5Issue(9)：31-34,4.
深蚀刻玻璃光波导光栅的研究
Investigation of Grating Deeply Etched on Glass Waveguide
马少杰 1文雨水 1傅绍军 2赵伟 1范俊清1
作者信息
- 1. 中国科学院长春物理研究所,长春,130021
- 2. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230026
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摘要
关键词
光波导光栅/布拉格衍射/离子蚀刻分类
机械制造引用本文复制引用
马少杰,文雨水,傅绍军,赵伟,范俊清..深蚀刻玻璃光波导光栅的研究[J].高技术通讯,1995,5(9):31-34,4.基金项目
中国科学院青年基金及邮电部基金资助项目 （）
