天津师范大学学报（自然科学版）2009，Vol.29Issue(2)：31-34,4.
射频磁控溅射参数对AIN薄膜光学性能的影响
Effects of parameter of RF magnetron sputtering on the optical properties of AIN thin films
摘要
关键词
AIN薄膜/透射谱/折射率/沉积速率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐清,侯兴刚,孙刚峰,吉亚萍,黄美东,林国强,董闯..射频磁控溅射参数对AIN薄膜光学性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2009,29(2):31-34,4.基金项目
天津市自然科学基金项目(07JCYBJC14900) （07JCYBJC14900）
大连理工大学三柬国家重点实验室开放课题(mmlab0704) （mmlab0704）
