光学精密工程2004，Vol.12Issue(z1)：31-35,5.
利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术
Micro-gyroscope technology based on MEMS microfabrication
邓晓蓓 1王向军1
作者信息
- 1. 天津大学,精密仪器与光电子工程学院,天津,300072
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摘要
关键词
MEMS/微加工/硅微加工/非全硅微陀螺分类
机械制造引用本文复制引用
邓晓蓓,王向军..利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀螺技术[J].光学精密工程,2004,12(z1):31-35,5.
