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X射线衍射分析热处理温度对透明导电膜结构与导电性能的影响

马颖 韩薇 张方辉

液晶与显示2005,Vol.20Issue(4):314-317,4.
液晶与显示2005,Vol.20Issue(4):314-317,4.

X射线衍射分析热处理温度对透明导电膜结构与导电性能的影响

Effects of Annealing Temperature on the Structure and Sheet Resistance of ITO Films with X-ray Diffraction Techniques

马颖 1韩薇 2张方辉1

作者信息

  • 1. 陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081
  • 2. 西安电力电子技术研究所,陕西,西安,710061
  • 折叠

摘要

关键词

ITO膜/热处理温度/X射线衍射分析/溶胶-凝胶法

分类

数理科学

引用本文复制引用

马颖,韩薇,张方辉..X射线衍射分析热处理温度对透明导电膜结构与导电性能的影响[J].液晶与显示,2005,20(4):314-317,4.

基金项目

陕西省教育厅基金资助项目(No.03JK161) (No.03JK161)

陕西科技大学基金资助项目(No.ZX04-34) (No.ZX04-34)

液晶与显示

OA北大核心CSCD

1007-2780

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