厦门大学学报（自然科学版）2005，Vol.44Issue(z1)：316-318,3.
微电铸及其在MEMS中的应用
Theory and Application of Micro-electroforming in MEMS
摘要
关键词
微电铸/脉冲/镍/悬臂梁分类
化学化工引用本文复制引用
吕文龙,陈义华,孙道恒..微电铸及其在MEMS中的应用[J].厦门大学学报（自然科学版）,2005,44(z1):316-318,3.基金项目
福建省自然科学基金(A0110003)和福建省科技计划重点项目(2002H022)资助 （A0110003）
