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多孔硅的I-V特性及NO2气敏特性研究

孙风云 胡明 孙鹏 陈鹏 刘博

传感技术学报2009,Vol.22Issue(3):316-319,4.
传感技术学报2009,Vol.22Issue(3):316-319,4.

多孔硅的I-V特性及NO2气敏特性研究

Study on the Electrical and NO2 Gas-Sensing Properties of Porous Silicon

孙风云 1胡明 1孙鹏 1陈鹏 1刘博1

作者信息

  • 1. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072
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摘要

关键词

多孔硅/孔隙率/I-V特性/NO2气敏特性

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙风云,胡明,孙鹏,陈鹏,刘博..多孔硅的I-V特性及NO2气敏特性研究[J].传感技术学报,2009,22(3):316-319,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(60771019,60801018) (60771019,60801018)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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