高压物理学报2007，Vol.21Issue(3)：316-321,6.
金刚石膜厚度尺寸对热残余应力的影响
Effect of Diamond Films Thickness on Thermal Residual Stress
摘要
关键词
金刚石膜/厚度/残余应力/有限元/主应力/界面分类
数理科学引用本文复制引用
唐达培,高庆,吴兰鹰..金刚石膜厚度尺寸对热残余应力的影响[J].高压物理学报,2007,21(3):316-321,6.基金项目
总装备部总装预研基金 （）
西南交通大学基础科学研究基金 （）
博士生创新基金 （）
