人工晶体学报2001，Vol.30Issue(3)：318-324,7.
三温区晶体生长炉热场设计探讨
Discussion of Temperature Profile Design of Three Temperature Zone Furnace for Crystal Growth
摘要
关键词
热场/三温区/控温精度/炉温均匀度/晶体炉分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁秀梅,陈巨才..三温区晶体生长炉热场设计探讨[J].人工晶体学报,2001,30(3):318-324,7.
