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Study on Interfacial SiO2 Layer of Silicon Direct Bonding

半导体学报Issue(4)：319,1.
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半导体学报Issue(4)：319,1.

Study on Interfacial SiO2 Layer of Silicon Direct Bonding

Study on Interfacial SiO2 Layer of Silicon Direct Bonding

摘要

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..Study on Interfacial SiO2 Layer of Silicon Direct Bonding[J].半导体学报,1999,(4):319,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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