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纳米硅薄膜微结构变化对薄膜光电性质的影响

余明斌 王燕 马爱华 刘满仓

西安理工大学学报Issue(4)：320-323,4.
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西安理工大学学报Issue(4)：320-323,4.

纳米硅薄膜微结构变化对薄膜光电性质的影响

余明斌 1王燕 1马爱华 1刘满仓1

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摘要

关键词

纳米硅薄膜/电导率/光学带隙/硅

分类

信息技术与安全科学

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余明斌,王燕,马爱华,刘满仓..纳米硅薄膜微结构变化对薄膜光电性质的影响[J].西安理工大学学报,1997,(4):320-323,4.

西安理工大学学报

1006-4710

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