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梳齿式微机械加速度计的研制

李童杰 董景新 刘云峰

传感技术学报2009，Vol.22Issue(3)：320-324,5.
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传感技术学报2009，Vol.22Issue(3)：320-324,5.

梳齿式微机械加速度计的研制

Design and Realization of Comb-Finger Micromechanical Accelerometer

李童杰 1董景新 1刘云峰1

作者信息

  • 1. 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS/梳齿式/微机械加速度计

分类

机械制造

引用本文复制引用

李童杰,董景新,刘云峰..梳齿式微机械加速度计的研制[J].传感技术学报,2009,22(3):320-324,5.

基金项目

国家"十一五"预研项目资助(51308050208) （51308050208）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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