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双材料微梁阵列室温物体红外成像

缪正宇 张青川 陈大鹏 伍小平 李超波 郭哲颖 董凤良 熊志铭

物理学报2006,Vol.55Issue(7):3208-3214,7.
物理学报2006,Vol.55Issue(7):3208-3214,7.

双材料微梁阵列室温物体红外成像

Bi-material mircocantilever array room-temperature IR imaging

缪正宇 1张青川 1陈大鹏 2伍小平 1李超波 2郭哲颖 1董凤良 1熊志铭1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学,中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,合肥,230027
  • 2. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

非制冷红外成像/光学读出/双材料微梁阵列

分类

数理科学

引用本文复制引用

缪正宇,张青川,陈大鹏,伍小平,李超波,郭哲颖,董凤良,熊志铭..双材料微梁阵列室温物体红外成像[J].物理学报,2006,55(7):3208-3214,7.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(973)计划(批准号:2006CB300404),国家自然科学基金(批准号:10232030,50076040和10472111)资助的课题. (973)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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