中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：321-323,3.
衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响
Effects of Substrate Quality on Fabrication of ZnO Piezoelectric Thin Film by Sol-gel Method
摘要
关键词
溶胶-凝胶法/002择优取向/晶态/非晶态分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王敏锐,王兢,陈文,崔岩..衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响[J].中国机械工程,2005,16(z1):321-323,3.基金项目
国家自然科学资金资助重大项目(90207003) （90207003）
