传感技术学报2005，Vol.18Issue(2)：321-324,4.
直流磁控反应溅射法制备TiO2薄膜及氧敏特性分析
Preparation of TiO2 Thin Films by DC Magnetron Reaction Sputtering and Analysis of Oxygen-Sensing Properties
张毅 1孙以材 1潘国峰1
作者信息
- 1. 河北工业大学微电子所,天津,300130
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摘要
关键词
直流磁控反应溅射/TiO2薄膜/氧敏/激活能/机理分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张毅,孙以材,潘国峰..直流磁控反应溅射法制备TiO2薄膜及氧敏特性分析[J].传感技术学报,2005,18(2):321-324,4.
