红外与毫米波学报2001，Vol.20Issue(5)：321-324,4.
用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究
FABRICATION OF GaAs MICROLENSES ARRAY WITH LONG FOCAL LENGTH FOR IMPROVING RESPONSIVITY OF PtSi IRFPA DEVICE
摘要
关键词
GaAs/微透镜阵列/离子束刻蚀/组合器件/红外焦平面阵列器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
何苗,易新建,程祖海,刘鲁勤,王英瑞..用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(5):321-324,4.基金项目
国防科技重点实验室基金(编号99JS11.2.0JW0505)资助项目和国家自然科学基金(编号60086003)资助项目 （编号99JS11.2.0JW0505）
