物理学报2004，Vol.53Issue(9)：3220-3224,5.
反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的XPS结构研究
XPS study of fluorinated diamond-like carbon films prepared by reactive magnetron sputtering
摘要
关键词
反应磁控溅射/氟化类金刚石薄膜/红外透射光谱/XPS光谱分类
数理科学引用本文复制引用
江美福,宁兆元..反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的XPS结构研究[J].物理学报,2004,53(9):3220-3224,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题. （批准号:10175048）
