金刚石与磨料磨具工程Issue(1)：32-35,4.
基于有限元法的硅片冰冻固结磨料抛光温度场分析
Analysis on temperature field when polishing with ice fixed abrasives based on FEM
摘要
关键词
温度场/有限元法/抛光/低温同结磨料分类
矿业与冶金引用本文复制引用
赵宇飞,左敦稳,孙玉利,卢文壮..基于有限元法的硅片冰冻固结磨料抛光温度场分析[J].金刚石与磨料磨具工程,2009,(1):32-35,4.基金项目
江苏省自然科学基金前期预研资助项目(No:BK2005215) （No:BK2005215）
江苏省精密与微细制造技术重点实验室资助项目(No:JSPM200705) （No:JSPM200705）
江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(No:CX07B_066z) （No:CX07B_066z）
