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NaF薄膜的结构与应力分析

詹勇军 王锋 袁玉全 谌家军

重庆文理学院学报（自然科学版）2007，Vol.26Issue(2)：32-35,4.
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重庆文理学院学报（自然科学版）2007，Vol.26Issue(2)：32-35,4.

NaF薄膜的结构与应力分析

Analysis of Structure and Residual Stress of NaF Films

詹勇军 1王锋 2袁玉全 3谌家军1

作者信息

  • 1. 西华师范大学,物理与电子信息学院,四川,南充,637002
  • 2. 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
  • 3. 四川大学,原子与分子物理研究所,四川,成都,610065
  • 折叠

摘要

关键词

脉冲激光沉积(PLD)/NaF薄膜/X射线衍射(XRD)/择优生长

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

詹勇军,王锋,袁玉全,谌家军..NaF薄膜的结构与应力分析[J].重庆文理学院学报（自然科学版）,2007,26(2):32-35,4.

基金项目

国家高技术研究发展计划课题(863计划)(2006AA804405) （863计划）

重庆文理学院学报（自然科学版）

OACHSSCD

1673-8012

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