材料科学与工程2001，Vol.19Issue(4)：32-36,5.
微波功率对a-C:F薄膜结构和光学性质的影响
The Influence of Microwave Power on the Structure and the Optical Property of a-C:F Thin Film
黄峰 1程珊华 1宁兆元 1杨慎东 1叶超 1甘肇强1
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摘要
关键词
微波ECR-CVD/a-C:F膜/微波功率分类
数理科学引用本文复制引用
黄峰,程珊华,宁兆元,杨慎东,叶超,甘肇强..微波功率对a-C:F薄膜结构和光学性质的影响[J].材料科学与工程,2001,19(4):32-36,5.
