半导体学报2005，Vol.26Issue(2)：324-328,5.
TiO2薄膜制备及其氧敏特性
Preparation of TiO2 Thin Films and Their Oxygen-Sensing Properties
戴振清 1孙以材 2潘国峰 1孟凡斌 1李国玉1
作者信息
- 1. 河北工业大学微电子研究所,天津,300130
- 2. 河北科技师范学院数理系,秦皇岛,066600
- 折叠
摘要
关键词
磁控溅射/TiO2薄膜/氧敏特性/激活能分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
戴振清,孙以材,潘国峰,孟凡斌,李国玉..TiO2薄膜制备及其氧敏特性[J].半导体学报,2005,26(2):324-328,5.
