物理学报2005，Vol.54Issue(7)：3257-3262,6.
MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响
Zr-N films prepared by MW-ECR PE-UNB alanced magnetron sputtering:plasma diagnostics and structure evolution
摘要
关键词
氮化锆薄膜/ECR等离子体/磁控溅射/诊断分类
数理科学引用本文复制引用
张治国,刘天伟,徐军,邓新禄,董闯..MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响[J].物理学报,2005,54(7):3257-3262,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:10176005)资助的课题. （批准号:10176005）
