物理学报2002，Vol.51Issue(2)：326-331,6.
热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究
Multiply steady states and nonequilibrium phase transition in chemical vapor deposition process
闫桂沈 1李贺军 2郝志彪3
作者信息
- 1. 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072；航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025
- 2. 西北工业大学材料科学与工程系,西安,710072
- 3. 航天科技集团公司第四研究院四十三研究所,西安,710025
- 折叠
摘要
关键词
非平衡化学反应/非平衡相变/化学气相沉积/Schlogl模型/热解碳分类
数理科学引用本文复制引用
闫桂沈,李贺军,郝志彪..热解碳化学气相沉积中的多重定态和非平衡相变的研究[J].物理学报,2002,51(2):326-331,6.
