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氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响

Noety.,R 牛智川

半导体学报Issue(5):327,1.
半导体学报Issue(5):327,1.

氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响

Noety.,R 1牛智川1

作者信息

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摘要

关键词

砷化镓/外延生长/MBE

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

Noety.,R,牛智川..氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响[J].半导体学报,1998,(5):327,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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