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半导体学报
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氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响
氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响
Noety.,R
牛智川
半导体学报
Issue(5):327,1.
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半导体学报
Issue(5)
:327,1.
氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响
Noety.,R
1
牛智川
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摘要
关键词
砷化镓
/
外延生长
/
MBE
分类
信息技术与安全科学
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Noety.,R,牛智川..氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响[J].半导体学报,1998,(5):327,1.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN:
1674-4926
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