物理学进展2008,Vol.28Issue(4):327-345,19.
微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展
DEVELOPMENT OF NANO-SCALE CHARACTERIZATIN TECHNIQUES BY AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY
康俊勇 1徐富春 1蔡端俊 1李金钗1
作者信息
- 1. 厦门大学光子学研究中心,物理系,厦门,361005
- 折叠
摘要
关键词
表征技术/俄歇电子能谱/微纳尺度分类
通用工业技术引用本文复制引用
康俊勇,徐富春,蔡端俊,李金钗..微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展[J].物理学进展,2008,28(4):327-345,19.