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微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展

康俊勇 徐富春 蔡端俊 李金钗

物理学进展2008,Vol.28Issue(4):327-345,19.
物理学进展2008,Vol.28Issue(4):327-345,19.

微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展

DEVELOPMENT OF NANO-SCALE CHARACTERIZATIN TECHNIQUES BY AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY

康俊勇 1徐富春 1蔡端俊 1李金钗1

作者信息

  • 1. 厦门大学光子学研究中心,物理系,厦门,361005
  • 折叠

摘要

关键词

表征技术/俄歇电子能谱/微纳尺度

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

康俊勇,徐富春,蔡端俊,李金钗..微纳尺度俄歇电子能谱新技术开发及其应用进展[J].物理学进展,2008,28(4):327-345,19.

物理学进展

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0542

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