传感技术学报2009，Vol.22Issue(3)：331-336,6.
低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器队跃响应特性分析
Study of Inertial Step Response of a Novel MEMS Capacitive Accelerometer with Variable Areas in Low Vacuum
摘要
关键词
MEMS/高精度微传感器/阶跃响应分析/倾斜梳齿分类
机械制造引用本文复制引用
陈金丹,董林玺,颜海霞,霍卫红,李永杰,孙玲玲..低真空封装的新型变电容面积MEMS惯性传感器队跃响应特性分析[J].传感技术学报,2009,22(3):331-336,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60506015) （60506015）
浙江省自然科学基金资助项目(Y107105) （Y107105）
