航空材料学报2007，Vol.27Issue(2)：33-36,4.
溅射工艺对TiAlN薄膜摩擦学性能的影响
Effect of Processing Condition on the Tribological Property of Sputtered TiAlN Thin Films
摘要
关键词
磁控溅射/TiAlN薄膜/摩擦系数分类
数理科学引用本文复制引用
罗飞,何欣,杨会生,高克玮,王燕斌..溅射工艺对TiAlN薄膜摩擦学性能的影响[J].航空材料学报,2007,27(2):33-36,4.基金项目
国家自然科学基金项目(50471091) （50471091）
