凹型Si微透镜阵列的制作

何苗易新建程祖海刘鲁勤王英瑞

红外与毫米波学报2002，Vol.21Issue(1)：33-36,4.

FABRICATION OF Si CONCAVE MICROLENSES ARRAY

何苗 ¹易新建 ¹程祖海 ¹刘鲁勤 ²王英瑞²

作者信息

Si/凹微透镜阵列/氩离子束刻蚀

信息技术与安全科学

何苗,易新建,程祖海,刘鲁勤,王英瑞..凹型Si微透镜阵列的制作[J].红外与毫米波学报,2002,21(1):33-36,4.

国家自然科学基金(编号600086003)资助项目（编号600086003）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1001-9014

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