安徽大学学报（自然科学版）2005，Vol.29Issue(3)：33-36,4.
退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响
Effect of annealing temperature on the microstructure and optical constants of Al film
摘要
关键词
微结构/光学常数/退火温度/椭偏光谱分类
数理科学引用本文复制引用
宋学萍,王佩红,孙兆奇..退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响[J].安徽大学学报（自然科学版）,2005,29(3):33-36,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(59972001) （59972001）
安徽省自然科学基金资助项目(01044901) （01044901）
安徽省教育厅科研基金资助项目(2003kj25) （2003kj25）
安徽省教育厅科研基金资助项目(2004kj030) （2004kj030）
