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适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究

袁俊 太云见 李龙 秦强 魏虹 任华

红外技术2009,Vol.31Issue(6):334-336,341,4.
红外技术2009,Vol.31Issue(6):334-336,341,4.

适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究

Preparation of VOx Films for Uncooled Infrared Detectors

袁俊 1太云见 1李龙 1秦强 1魏虹 1任华1

作者信息

  • 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
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摘要

关键词

氧化钒/非制冷红外探测器/离子束增强沉积

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

袁俊,太云见,李龙,秦强,魏虹,任华..适用于非制冷焦平面探测器的氧化钒薄膜制备研究[J].红外技术,2009,31(6):334-336,341,4.

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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