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ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展

谭天亚 江雪 崔春阳 李春梅 徐广文 吴炜 郭永新

辽宁大学学报(自然科学版)2007,Vol.34Issue(4):334-338,5.
辽宁大学学报(自然科学版)2007,Vol.34Issue(4):334-338,5.

ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展

Progress of Deposition Techniques for ZnO-based Transparent Conductive Thin Films

谭天亚 1江雪 1崔春阳 1李春梅 1徐广文 1吴炜 1郭永新1

作者信息

  • 1. 辽宁大学,物理学院,沈阳市光电子功能器件与检测技术重点实验室,辽宁,沈阳,110036
  • 折叠

摘要

关键词

透明导电薄膜/ZnO/制备方法/电阻率/透射率.

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

谭天亚,江雪,崔春阳,李春梅,徐广文,吴炜,郭永新..ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展[J].辽宁大学学报(自然科学版),2007,34(4):334-338,5.

基金项目

辽宁大学科研启动基金资助项目(408041). (408041)

辽宁大学学报(自然科学版)

1000-5846

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