西安理工大学学报2001，Vol.17Issue(4)：335-337,3.
3C-SiC晶体薄膜的退火特性及其光荧光
The Anneal Behaviors of 3C-SiC Thin Films and Their Photoluminescence
摘要
关键词
3C-SiC薄膜/热丝CVD/退火/光荧光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
雷天民,陈治明,马剑平,王建农,胡宝宏..3C-SiC晶体薄膜的退火特性及其光荧光[J].西安理工大学学报,2001,17(4):335-337,3.基金项目
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