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BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响

徐世友 祁英昆 张溪文 韩高荣

材料科学与工程学报2003,Vol.21Issue(3):335-338,4.
材料科学与工程学报2003,Vol.21Issue(3):335-338,4.

BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响

Deposition of BPx N1-x Thin Films and Study on the Influence of Phosphorus for its Bandgap Modulation

徐世友 1祁英昆 1张溪文 1韩高荣1

作者信息

  • 1. 硅材料国家重点实验室,浙江大学材料系,浙江,杭州,310027
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摘要

关键词

BPxN1-x薄膜/光学能隙/磷掺杂/紫外液晶光阀

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

徐世友,祁英昆,张溪文,韩高荣..BPxN1-x薄膜的制备及磷元素对其光学能隙的影响[J].材料科学与工程学报,2003,21(3):335-338,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(60006003) (60006003)

材料科学与工程学报

OACSCD

1673-2812

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