激光技术2006，Vol.30Issue(4)：337-339,343,4.
激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析
Analysis of characteristics of a lateral shear interferometer for on-machine surface measurement
摘要
关键词
仪器测量与计量/剪切干涉/在线/分析分类
机械制造引用本文复制引用
刘晓军,高咏生..激光剪切干涉用于在线表面测量的特性分析[J].激光技术,2006,30(4):337-339,343,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50475136) （50475136）
