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用化学方法制备硅场发射阵列

元光金长春金亿鑫宋航荆海朱希铃张宝林周天明宁永强蒋红王惟彪

发光学报Issue(4)：341-345,5.

元光 ¹金长春 ¹金亿鑫 ²宋航 ²荆海 ²朱希铃 ²张宝林 ²周天明 ²宁永强 ²蒋红 ²王惟彪²

作者信息

真空/微电子/场发射/硅微尖阵列/SEM

信息技术与安全科学

元光,金长春,金亿鑫,宋航,荆海,朱希铃,张宝林,周天明,宁永强,蒋红,王惟彪..用化学方法制备硅场发射阵列[J].发光学报,1996,(4):341-345,5.

OA北大核心CSCD

ISSN：1000-7032

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