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用化学方法制备硅场发射阵列

元光 金长春 金亿鑫 宋航 荆海 朱希铃 张宝林 周天明 宁永强 蒋红 王惟彪

发光学报Issue(4):341-345,5.
发光学报Issue(4):341-345,5.

用化学方法制备硅场发射阵列

元光 1金长春 1金亿鑫 2宋航 2荆海 2朱希铃 2张宝林 2周天明 2宁永强 2蒋红 2王惟彪2

作者信息

  • 1. 中国科学院长春物理研究所
  • 折叠

摘要

关键词

真空/微电子/场发射/硅微尖阵列/SEM

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

元光,金长春,金亿鑫,宋航,荆海,朱希铃,张宝林,周天明,宁永强,蒋红,王惟彪..用化学方法制备硅场发射阵列[J].发光学报,1996,(4):341-345,5.

发光学报

OA北大核心CSCD

1000-7032

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