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氮化硼薄膜沉积中的相变化研究

赵永年

人工晶体学报Issue(3)：343,1.
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人工晶体学报Issue(3)：343,1.

氮化硼薄膜沉积中的相变化研究

赵永年1

作者信息

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摘要

关键词

立方氮化硼薄膜/PVD法/相转变/沉积/半导体薄膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

赵永年..氮化硼薄膜沉积中的相变化研究[J].人工晶体学报,1997,(3):343,1.

人工晶体学报

OA北大核心CSCD

1000-985X

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