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不同晶格基底上薄膜生长的Monte Carlo模拟研究

谭天亚 李春梅 苏宇 张静 吴炜 郭永新

原子与分子物理学报2009,Vol.26Issue(2):343-348,6.
原子与分子物理学报2009,Vol.26Issue(2):343-348,6.

不同晶格基底上薄膜生长的Monte Carlo模拟研究

Monte Carlo simulation and study of thin film growth on different crystal substrate

谭天亚 1李春梅 1苏宇 1张静 1吴炜 1郭永新1

作者信息

  • 1. 辽宁大学物理学院沈阳市光电子功能器件与检测技术重点实验室,沈阳,110036
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摘要

关键词

Monte Carlo模拟/薄膜生长/晶格/基底温度/入射粒子剩余能量

分类

数理科学

引用本文复制引用

谭天亚,李春梅,苏宇,张静,吴炜,郭永新..不同晶格基底上薄膜生长的Monte Carlo模拟研究[J].原子与分子物理学报,2009,26(2):343-348,6.

基金项目

沈阳市科学技术计划项目(1071115-1-00) (1071115-1-00)

辽宁省教育厅科研项目计划(2008224) (2008224)

辽宁省科技厅科研项目(20081030). (20081030)

原子与分子物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-0364

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