计算机应用与软件2004,Vol.21Issue(4):34-35,70,3.
面向订单的硅材料生产计划自动生成系统
A SYSTEM OF AUTOMATIC CREATION OF ORDER FORM ORIENTED MANUFACTURING PLAN FOR SEMICONDUCTOR MATERIAL MANUFACTURING
董森华 1向采兰 1孔玮曼 1郝玉清2
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
- 2. 有研半导体材料股份有限公司,北京,100088
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摘要
关键词
CAM 订单 生产计划 硅材料分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董森华,向采兰,孔玮曼,郝玉清..面向订单的硅材料生产计划自动生成系统[J].计算机应用与软件,2004,21(4):34-35,70,3.