|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|能源工程|铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究

铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究

唐骏 黄笑容 席珍强 杜平凡 姚剑 徐敏

能源工程Issue(3)：34-36,3.
✕
能源工程Issue(3)：34-36,3.

铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究

Phosphorous gettering of cast multicrystalline silicon wafers from different positions of the ingot

唐骏 1黄笑容 2席珍强 3杜平凡 3姚剑 3徐敏3

作者信息

  • 1. 中国光电技术发展中心,浙江,杭州,310012
  • 2. 杭州海纳半导体有限公司,浙江,杭州,310027
  • 3. 浙江理工大学,材料研究中心,浙江,杭州,310018
  • 折叠

摘要

关键词

多晶硅/磷吸杂/少子寿命

分类

能源科技

引用本文复制引用

唐骏,黄笑容,席珍强,杜平凡,姚剑,徐敏..铸造多晶硅硅片的磷吸杂研究[J].能源工程,2007,(3):34-36,3.

基金项目

国家科技攻关计划(2004BA410A02) （2004BA410A02）

浙江省自然科学基金资助项目(Y105468) （Y105468）

能源工程

1004-3950

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文