标准单元可制造性分级OACSTPCD
Standard Cell DFM Grading
随着制造工艺尺寸的缩小,可制造性不只是工厂需要关注的问题,更是设计者需要考虑的重点,从而提高良率和版图面积的利用率.为了使设计者更好地理解和控制可制造性,对标准单元的可制造性分级显得尤为重要.用加权重的方法对标准单元进行可制造性分级,该方法不但包含可制造性规则对版图的约束,还创新性地把工艺参数变化对其造成的影响考虑了进去.用一套简化的可制造性规则和版图来演示此种分级方法的实现,并用模拟结果验证了它的有效性.该分级方法具有统一性和标准性,可以被广泛采用.
张子文;龚敏;陈岚
四川大学,物理科学与技术学院,微电子技术四川省重点实验室,四川,成都,610064四川大学,物理科学与技术学院,微电子技术四川省重点实验室,四川,成都,610064中国科学院,微电子研究所共性技术研究室,北京,100029
信息技术与安全科学
可制造性标准单元权重光刻模拟
《现代电子技术》 2008 (24)
34-36,3
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