高技术通讯2000，Vol.10Issue(8)：34-36,3.
光加热低压金属有机化学气相淀积生长AlGaN
Light Radiation Heating Low Pressure Metal-organic Chemical Vapor Deposition of AlGaN
摘要
关键词
AlGaN/GaN/金属有机化学气相淀积/气相寄生反应分类
化学化工引用本文复制引用
周玉刚,李卫平,沈波,陈鹏,陈志忠,臧岚,张荣,顾书林,施毅,郑有炓..光加热低压金属有机化学气相淀积生长AlGaN[J].高技术通讯,2000,10(8):34-36,3.基金项目
863计划及国家自然科学基金资助项目. （）
