广西工学院学报2008，Vol.19Issue(1)：34-37,4.
一种分析静电驱动微悬臂梁变形的高精度算法
A high precision method for analyzing the deformation of micro-cantilevers driven by electrostatic force
摘要
关键词
微悬臂梁/打靶法/迭代修正齐次扩容精细积分法/增量迭代分类
计算机与自动化引用本文复制引用
陆静,韦笑梅,马小强..一种分析静电驱动微悬臂梁变形的高精度算法[J].广西工学院学报,2008,19(1):34-37,4.基金项目
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目,广西自然科学基金(桂科自0481028)项目资助. （桂科自0481028）
