国防科技大学学报2004，Vol.26Issue(6)：34-37,4.
微加速度计研究的进展
Developments of Microaccelerometer Research
李圣怡 1刘宗林 1吴学忠1
作者信息
- 1. 国防科技大学机电工程与自动化学院,湖南,长沙,410073
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摘要
关键词
微加速度计/微机电系统/制作工艺分类
机械制造引用本文复制引用
李圣怡,刘宗林,吴学忠..微加速度计研究的进展[J].国防科技大学学报,2004,26(6):34-37,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50375154) （50375154）
