材料工程Issue(2)：34-37,4.
微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜
Fabrication of Barium Titanate Thin Films by Microplasma Oxidation
摘要
关键词
微等离子体氧化/相组成/元素分布/成膜过程分类
通用工业技术引用本文复制引用
姜兆华,李文旭,闫久春,李益民..微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜[J].材料工程,2002,(2):34-37,4.基金项目
本项目受国家自然科学基金资助50171026和哈工大交叉学科研究基金资助 HIT.MD2000.19 （）
