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硅薄膜晶化机制的光学分析

张丽伟 周伶俐 李瑞 卢景霄 李红菊 王红娟 谷锦华 杨仕娥

人工晶体学报2007，Vol.36Issue(2)：344-347,367,5.
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人工晶体学报2007，Vol.36Issue(2)：344-347,367,5.

硅薄膜晶化机制的光学分析

Optical Analysis of Crystalline Mechanics of Silicon Thin Film Annealed by RTP

张丽伟 1周伶俐 2李瑞 2卢景霄 3李红菊 1王红娟 1谷锦华 1杨仕娥1

作者信息

  • 1. 郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052
  • 2. 新乡师范高等专科学校,新乡,453000
  • 3. 河南工业大学,郑州,450001
  • 折叠

摘要

关键词

RTP/CFP/拉曼光谱/硅薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张丽伟,周伶俐,李瑞,卢景霄,李红菊,王红娟,谷锦华,杨仕娥..硅薄膜晶化机制的光学分析[J].人工晶体学报,2007,36(2):344-347,367,5.

基金项目

国家基础研究973计划项目(No.2006CB202601) （No.2006CB202601）

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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