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高脉冲功率能量PLD法制备MgZnO薄膜中的沉积机理

汪壮兵 李祥 于永强 梁齐 揭建胜 许小亮

发光学报2009,Vol.30Issue(3):344-350,7.
发光学报2009,Vol.30Issue(3):344-350,7.

高脉冲功率能量PLD法制备MgZnO薄膜中的沉积机理

The Deposition Mechanism of MgZnO Films by PLD with High Pulse Energy

汪壮兵 1李祥 1于永强 1梁齐 1揭建胜 1许小亮2

作者信息

  • 1. 合肥工业大学,应用物理系,安徽,合肥,230009
  • 2. 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026
  • 折叠

摘要

关键词

MgZnO薄膜/脉冲激光沉积/X射线衍射/原子力显微镜/光致发光谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

汪壮兵,李祥,于永强,梁齐,揭建胜,许小亮..高脉冲功率能量PLD法制备MgZnO薄膜中的沉积机理[J].发光学报,2009,30(3):344-350,7.

基金项目

国家自然科学基金(50872129,60806028) (50872129,60806028)

合肥工业大学博士专项基金资助项目 ()

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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